熱式質量流量計(控製器)使用中注（zhù）意事項

(1)儀表使（shǐ）用（yòng）時,使用環境應滿足說明書中規定的環（huán）境條件和使用攏術規定,流ZUI大值應在所選儀表程的規（guī）定範（fàn）圍內。

(2)為了保證 MFM/MFC可緣工作和維護使用方便,儀表使用（yòng）時應配套（tào）安裝適當截止、過濾器,幹燥器、單向、減壓器和背壓等。

(3)由於該儀表（biǎo）容易（yì）發生堵塞現（xiàn）象,所以使用中要經常啟用“清洗”過程和定期清洗配套過濾器。

(4)使（shǐ）用中進（jìn）行“清洗”操作時,“清洗”結東,不要直（zhí）接轉入“閥控”位,應先置於（yú）“關閉位覺（jiào）,然後,再轉至“控”位。

(5)對於反應（yīng）係統,建議在 MFM/MFC入口處加裝過濾器,出口（kǒu）端加裝單（dān）向層,以防止異常情（qíng）況發生時,液體反應物倒流（liú）至儀表（biǎo）內使其損壞。

(6)對於（yú）常（cháng）壓（yā）係統,一（yī）般選擇減壓器和過濾器與其配套,以便保證儀表可運（yùn）行和控精度。

(7)對於高壓係統,應在 MFM//MFC的上遊加裝減壓閥、過濾器,下遊加裝背壓閿(或其（qí）他節流裝)及壓力表,以便保證 MFM/MFC應有的工作壓差（chà）。

(8)對於矽烷這樣的遇空氣易形成（chéng）結晶（jīng）的氣體,應特別注（zhù）意係統的密閉性(檢漏時,不要（yào）忽視減壓器),必要時設計上吹洗旁路,以便進行氮氣吹洗或正壓保（bǎo）待。

(9)對有高頻源的係統,應注意屏慧,並做好接地,一般選擇單點接地為宜。

(10)對於高真空係統,應盡量減少（shǎo）氣略接頭,對須有的接頭,要嚴格密封或采用VCR等接頭

(11)對於 MFM/MFC的安裝位置,應盡景選擇水平位置、並且安裝麵要水平、安裝位置要易於裝卸、檢、調零。安裝時要盡量（liàng）避免受到撞（zhuàng）擊,安裝固（gù）定要安全可靠。

(12)使用中,如果工藝係統（tǒng）複雜（zá）或使（shǐ）用特殊氣（qì）體,儀表的測控（kòng）係統啟用應建立（lì）專用的操作（zuò）規程。

(13)使用中若發現儀表零點偏移時、可通過外罩上（shàng）的調零孔調整,也（yě）可揭開外罩調整,但（dàn）量程調整電位器不得輕易調整。

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